全自動EB蒸着装置
メーカー：サンユー電子株式会社
モデル：SVC-700LEB/J-6GA
　酸化物や化合物、抵抗加熱に不向きな高融点金属の製膜に適した電子ビーム蒸着装置です。大型基板や多層成膜に対応し、自動操作・制御により、同一条件の製膜を繰り返し行うことが可能です。