小型エッチング装置
メーカー：サムコ株式会社
モデル：FA-1
　反応性イオンエッチング法により、レジストなどの有機被膜のアッシングやSiO2薄膜の平坦化・除去を行う、ドライエッチング装置です。ワンタッチ操作のみで使用できます。