スパッタリング装置
メーカー：キヤノンアネルバ株式会社
モデル：E-200S
　φ2”カソードを3基搭載し、任意の混合材料での薄膜作製が可能なスパッタ装置です。均一な膜厚分布で、静止対向製膜および回転製膜が可能です。