超臨界洗浄・乾燥装置
メーカー：隆祥産業株式会社
モデル：SCRD401
　超臨界CO2により、超微細構造物を破壊することなく洗浄･乾燥を行うことが可能な装置です。金属または誘電体ナノ構造の洗浄と乾燥に用いています。